制程片PL模组



简介

制程片PL检测模组可应用于制绒、扩散、刻蚀、PECVD工艺后,对过程片进行缺陷检测。

可安装于刻蚀上料、PECVD下料、丝网上料处以及离线设备,结合客户端现有设备实现剔除。

采用了特殊定制相机和神经网络算法相结合,可快速、准确地检测出缺陷,检测速率大大提升。

采用非接触式的检测方式,大大降低了在生产电池片各个工艺过程中的碎片率,是分析工艺问题、提高成品率、降低成本必不可少的视觉检测设备。为产品质量提供了完全可靠的保障。



  


                         过程片

产品特性

产能大于4500/小时

兼容多尺寸片源,更换尺寸无需更换硬件,降低人力及耗材成本

无接触式检测,不会对过程片造成二次损伤

提前筛选出问题片,节约制造成本                                                                            

自动统计各类缺陷、良品数量及比例

适用于制绒、蚀刻、扩散、PECVD等多种工序



技术指标

可检测缺陷:

隐裂、划伤、污染、黑斑、吸盘印、皮带印等

模块产能:

4500p/H

相机类型:

高清红外线扫工业相机

适用电池片规格

156210mm(±0.5mm) , 160~200μm


缺陷对比图


PL

 

 

 

 

 


EL

 

 

 

 

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